原子力顯微鏡 ( Atomic Force Microscope ) 是利用奈米尺寸的探針在樣品表面做掃瞄,懸臂末端的探針尖端接觸表面,彎曲懸臂改變反射到光電二極管中的激光量,然後調整懸臂的高度以恢復響應信號,藉由懸臂移動高度測得追踪樣品表面。近年來AFM開發很多的量測應用:如電性、磁性等,這些都必須搭配各式的探針與模組方能進行量測,根據其成像原理和操作模式的差異,以分析奈米材料表面形貌、表面粗糙度、尺度、電性、硬度、黏滯力等。涵蓋了聚合物材料表面結構、整合光路測量、材料力學性能特性、MEMS製程分析、細胞表面形態、結構觀察、資料儲存、液晶材料性能特性、生物感測器、分子自組裝結構、能源等領域的監測。
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